高分辨热场发射扫描电子显微镜

基本信息

设备品牌：Tescan

设备型号：Clara LMH

放置地点：医学园2-1008A

管理员：吕乐福

联系邮箱：lvlefu@mail.sysu.edu.cn

主要规格及技术指标

1、镜筒：电子束全程加速的复合物镜。

2、二次电子分辨率0.8nm(15kV)；1.2nm(1kV)；背散射电子分辨率2.0nm(30kV) 。

3、加速电压50V~30kV，10V 连续可调。

4、电子束流大于等于399.8nA 。

5、放大倍数×2~×2，000，000 。

6、镜筒真空9.4×10^-6Pa，电子枪真空7.7×10^-9Pa，样品仓9.018×10^-4Pa 。

7、视野范围6.4903 mm（工作距离10 mm），28.831 mm（工作距离30 mm）。

8、样品台：行程：X轴80mm(-40至40）、Y轴60mm（-30至30）；Z轴49mm（-5至45）；倾斜：-80°~+80°；旋转360°连续。

9、样品室大小的内径为230mm。

主要附件及配置

1、能谱仪：布鲁克XFlash 760，有效面积60mm²；能量分辨率在100，000CPS 条件下Mn Ka保证优于127.8eV，轻元素分辨率C-K/55eV，F-K/62eV，元素分析范围:Be4～Cf98；单探测器输出最大计数率600,000CPS，可处理最大计数率为1,701,000CPS；谱峰稳定性1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，12小时内峰位漂移1.3eV。

2、离子溅射仪：TED PELLA 108Auto，样品室大小直径为120mm×高120mm；样品台直径为60mm，高度可调范围为0－50mm；标配Au靶。

3、冷冻干燥仪：Vacuum Device VFD-21s，试料室内径120mm，高65mm，硬质玻璃；试料台为铝材质，热模块+热敏电阻控制，试料容器安装孔4个；试料容器为铝材质，外径21mm，高22mm，容积4ml，4个；温度范围：0-40℃数字显示。

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